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碳化鎢涂層化學(xué)蒸汽沉積方法CVD與PVD碳化鎢鍍膜工藝優(yōu)勢比較
碳化鎢涂層目前正廣泛應(yīng)用于機械工程中用在各種制品和工具的制造中。碳化鎢涂層具有高耐磨損性，因此顯著地延長了機械工程產(chǎn)品和工具在苛刻操作條件下的壽命。但是，PVD工藝制作碳化鎢涂層的合成速率非常低，并且當(dāng)鎢-碳層增長時，涂層的內(nèi)部應(yīng)力急劇上升，從而導(dǎo)致涂層分層。因此通過PVD方法不可能生產(chǎn)足夠厚的涂層。另外，物理蒸汽沉積方法本質(zhì)上不適合用于具有復(fù)雜形狀部件的涂層沉積，這是因為不可能把涂層沉積在相對于入射線被遮蔽的部件的部分上。化學(xué)蒸汽沉積方法(CVD)消除了這些缺點。CVD方法可用于把高耐磨損性和高耐腐蝕性的涂層沉積在基材上以及具有復(fù)雜形狀的部件上。在一個典型的用于復(fù)合涂層沉積的CVD過程中，在反應(yīng)室中加熱基材，然后把預(yù)先混合的氣相試劑引入反應(yīng)室中。通過變化反應(yīng)混合物的組成和過程參數(shù)(基材溫度、反應(yīng)混合物組成、流速、反應(yīng)混合物中的總壓力、所提供氣體的溫度等)，可以得到多種涂層。
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